图4. 本实用新型的研磨盘梯形沟槽。图5.U形沟槽与V形沟槽移除率对比图。符号说明1:研磨盘；2:沟槽；3:槽壁；4:沟槽的中心线；α:槽壁与沟槽中心线的夹角。本发明公开了一种研磨盘的制作方法及研磨盘，涉及磨削技术领域，制作若干基块、若干刀头、薄基板和安装盘；首先通过碰焊在薄基板的上端面固定安装若干所述基块，制成基体；然
5.为解决上述技术问题，本实用新型具体采用如下技术方案：一种研磨盘，包括内置电机的底座，所述底座的顶部设置有盘体，所述盘体包括转动的上磨盘和固定设置在底座在凹槽10内部和上磨盘1上均安装厚度检测计，可以实时探测蜡层厚度和晶圆厚度，反馈到控制系统，对研磨过程进行实时监测，厚度检测计探测方式为红外线。在载物盘2上表面可开设若干
≥ω≤ 23.实施例：参照图1所示：一种方便操作的研磨盘，包括机体1,机体1内部安装有驱动电机2,驱动电机2的输出端从机体1上表面探出，且机体1后端开口处通过螺栓连接有检研磨盘本体上方设置多边形板，箱体上设置有位于研磨盘本体内的若干卡圈，多边形朝下分别间隔设置有打磨盘和吸盘，多边型板上设置与吸盘配合的电生磁机构，箱体上还设置有竖直的转动杆，转动杆与多边形
这种研磨机具存在的一个问题是研磨盘1主要由结合于具罩体53的研磨机具50的基板10和主盘体20、黏贴片30与研磨层40依序层叠装配组成，在装配作业上比较麻烦。再者，主盘体20、黏43.本实施例的粉末研磨盘的使用方法为：44.使用时，先将粉末原料倒入研磨腔内，再将粉末研磨盘放置于研磨腔内，将环形研磨刀片1与研磨腔的顶部连接固定好后。启动
